Glaskohlenstoff ist ein weitestgehend undurchlässiger Kohlenstoff mit hohem amorphem, glasigem Anteil. Er weist einzigartige Eigenschaften auf, die man bei anderen Kohlenstoffen oder Graphiten nicht findet. Glaskohlenstoff hat eine amorphe Struktur, welche keine Kristalle enthält und gasundurchlässig ist.
Glaskohlenstoff
Kenndaten:
- Geringe scheinbare Dichte
- Ausgezeichnete elektrische und thermische Leitfähigkeit
- Hoher Widerstand gegen verschiedene aggressive Chemikalien
- Keine Partikelabsonderung oder Ausgasung
- Hoher Widerstand gegen thermische Schocks
- Hohe mechanische Festigkeit
- absolut gasundurchlässig
Anwendungen:
- Halter für Halbleiterscheiben
- Hitzereflektoren
- Suszeptoren und Führungsringe
- Gasdiffuser für Plasmaätzung
- Reiniungsgeräte von Prozessmaterialien
- Dummy-Halbleiterscheiben
- Tiegel, Schutzrohre und Labor- und Glasformmaterialien
Typische Eigenschaften
| Dichte (g/cm³) | Spez.elektr. Widerstand (µ?m) | Biegefestigkeit (MPa) | Härte (Shore) | Wärmeleitfähigkeit (W/mK) | Ash (ppm) |
| 1.51 | 42 | 147 | 120 | 5.8 | <2 |
Analyse typischer Verunreinigungen
| Al | Ca | Cr | Cu | Fe | K | Na | Ni | Ti | V | |
| ppm | <0.08 | <0.04 | <0.17 | <0.08 | <0.04 | <0.1 | <0.05 | <0.1 | <0.09 | <0.07 |
Materialvergleich
Glaskohlenstoff (GC) hat eine amorphe Struktur, welche die Eigenschaften von Glas und Kohlenstoff verbindet
| Isographit | Glaskohlenstoff | Quarz | |
| Wärmewiderstand | Ausgezeichnet | Gut | |
| Elektrische Leitfähigkeit | Hoch | Nein | |
| Thermische Ausdehnung | Mehr als Quarz | Neidrig | |
| Wärmeleitfähigkeit | Hoch | Niedrig | |
| Partikelerzeugung | Ja | Nein | |
| Gasdurchlässigkeit | Ja | Nein | |
| Dimensional Tolerances (mm) | |||||
| Forms | I.Dia | O.Dia | L, H. | Thickness | |
| Rods | RA-3 | ±0.3 | ±1 | ||
| Others | ±0.4 | ±1 | |||
| Plates | ±0.3 | ±0.2 | |||
| Disks | ±0.2 | ±0.2 | |||
| Crucibles | C-30, 40 | ±1 | ±1 | ±2 | |
| Others | ±2 | ±2 | ±3 | ||
| Pipes | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ||
| With Lid Tubes | ±0.5 | ±0.5 | ±1 | ||
| Shape | Type | Size (mm) | ||
| (non-standard) | ø | Length/Height | ||
| External | Internal | |||
| Rods | (Ra2xL100) | 2 | 100 | |
| (Ra3xL10) | 3 | 100 | ||
| (Ra3xL50) | 3 | 50 | ||
| (Ra3×L100) | 3 | 100 | ||
| Ra3×L300 | 3 | 300 | ||
| ??Ra5×L100? | 5.2 | 100 | ||
| Ra5×L500 | 5.2 | 500 | ||
| (Ra6×L100) | 6 | 100 | ||
| (Ra6×L300) | 6 | 300 | ||
| Ra6×L500 | 6 | 500 | ||
| Ra8×L100 | 8 | 100 | ||
| Ra10×L100 | 10 | 100 | ||
| Crucibles | C-1 | 10 | 8 | 10 |
| C-4 | 20 | 16 | 30 | |
| C-30 | 40 | 36 | 40 | |
| C-40 | 45 | 41 | 43 | |
| (C-150) | 65 | 61 | 61 | |
| Shape | Type | Size (mm) | ||
| (non-standard) | ø | Length/Height | ||
| External | Internal | |||
| Pipes | P5×L500 | 7 | 5 | 500 |
| (P6×L100) | 8 | 6 | 100 | |
| P6×L500 | 8 | 6 | 500 | |
| (P10×L100) | 13 | 10 | 100 | |
| P10×L500 | 13 | 10 | 500 | |
| (P16×L100) | 20 | 16 | 100 | |
| P16×L500 | 20 | 16 | 500 | |
| With Lid Tubes | PP5×L500 | 7 | 5 | 500 |
| (PP6×L100) | 8 | 6 | 100 | |
| PP6×L500 | 8 | 6 | 500 | |
| (PP10×L100) | 13 | 10 | 100 | |
| PP10×L500 | 13 | 10 | 500 | |
| (PP16×L100) | 20 | 16 | 100 | |
| PP16×L500 | 20 | 16 | 500 | |
| Shape | Type | Size (mm) | ||
| (non-standard) | Length | Width | Thickness | |
| Plates | SA-1 | 100 | 100 | 1 |
| (SA-2) | 100 | 100 | 2 | |
| SA-3 | 100 | 100 | 3 | |
| (SA-6) | 100 | 100 | 6 | |
| (SD-3) | 200 | 200 | 3 | |
| (SD-6) | 200 | 200 | 6 | |
| (SD-6) | 300 | 300 | 6 | |
