Es gibt zwei Methoden nach denen Graphit beschichtet werden kann. CVD (Chemical Vapour Deposition) und CVI (Chemical Vapour Impregnation). Diese Prozesse transformieren die Graphitoberfläche in SiC . Die “Beschichtung” verbindet sich mit dem Graphitgrundmaterial wodurch Rissbildung und Abblätterungen vermieden werden. Diese Beschichtung führt zu einer längeren Lebensdauer und erhöht die Haltbarkeit. Die Materialien wurden ursprünglich für die Halbleiterproduktion entwickelt, finden aber auch Anwendungen in anderen Industrien.

Eigenschaften:

• Ausgezeichneter thermischer und physischer „Erschütterungswiderstand“
• Ausgezeichnete chemische Widerstandsfähigkeit
• Hohe Reinheit
• Einsatz unter oxidierenden Bedingungen möglich

Anwendungen:

• Suszeptoren für Epitaxie
• Suszeptoren für CVD
• Heizer / Heizelemente
• Bauteile für CZ Si-Einkristall- Ziehanlagen

Anmerkung: Für die Eigenschaften und Element-Analyse von SiC – Schichten gilt das Datenblatt „SOLID SiC“